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韓國國產替代腳步不停,三星進一步推動氣態氟化氫國產自制!

2019/10/18 16:45:16      點擊:

據媒體報道,三星電子決定與Wonik Materials合作,推動氣態氟化氫國產自制,計劃于2020年將國產自制蝕刻氣體正式用于產線。

這是繼前不久韓國業者成功自制液態氟化氫后,嘗試進一步降低對日本半導體原材料的依賴。不過氟化氫氣體在制程上比液體復雜,業者挑戰國產自制的難度較高。

此前,在日本對韓國進行進出口管制之前,韓國半導體大廠三星和SK海力士蝕刻氣體主要供應商為昭和電工(Showa Denko),且韓國與日本業界保持著深厚的合作關系,根本不必投入資源、金錢去開發新供應商或推動國產自制。因此,在5年前韓國化學業界的蝕刻氣體技術落后日本約15年。

眾所周知,在集成電路生產中,產品的潔凈度和純度對半導體產品的品質影響極大,而氟化氫作為在清洗和蝕刻等關鍵步驟中大量使用的原材料,其產品品質重要性顯而易見。而日產氟化氫的厲害之處就在于其超高的純凈度及由此帶來的較低的使用成本。

據韓媒報道,韓國化學廠商Wonik Materials日前表示,準備在進口原料之后進行合成、精制加工,逐步提高氣態氟化氫的純度,三星使用的蝕刻氣體純度以99.99999%到99.9999999999%為主,為了將產品純度提高到這個水平,正與三星合作反復進行測試。蝕刻氣體非常重視精密度,測試過程工程需要3~4個月。計劃2019年底前完成質量測試,2020年開始用在三星電子的半導體產線。

在原料進口方面,Wonik Materials也積極尋找更多供應商,避免過度集中從日本進口,后續準備也與中國大陸、臺灣、歐洲、俄羅斯等地的業者合作。三星電子表示,蝕刻氣體國產自制與原料進口來源增加都是積極推動的目標。

SK海力士目前也與關系企業SK Materials合作進行蝕刻氣體測試,預定2020年正式將韓制蝕刻氣體用于產線。日本政府自7月初進行半導體物資出口管制后,至今對三星電子與SK海力士只各核準1件蝕刻氣體的出口申請,兩家業者面對用料取得的不確定性,因此積極推動國產自制。

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